产品介绍 人与技术结合的KCT

产品介绍

产品名称
KCE 302 / KCE303 / KCE304
型号名称
EFEM
概要
把Wafer从Carrier(FOUP或FOSB)开始利用搬送用机器人,通过Wafer整列技能后,为了进行Process 往Loading Chamber Moving的装置。

Wafer Size : 300mm Silicon Wafer

Carrier : 25 Wafers

Load Port Configuration :

   300mm LPM(3Foup)

Wafer 搬送 : Clean Robot

FFU Module :

   → 面速 : 0.4m/sec

   → 效率 : 0.1㎛ 99.99995%