产品介绍 人与技术结合的KCT

产品介绍

产品名称
KCS3002 / 3004
型号名称
300 Sorter
概要
本设备是对应 300mm 搬送用 FOUP/FOSB,是Wafet Sorter Station 执行 Wafer 的 Dumping,Ailgnment,OCR Reading 技能。

Wafer Size : 300mm Silicon Wafer

Carrier : 25 Wafers

Load Port Configuration : 300mm LPM(2~4Foup)

Wafer 搬送 : Clean Robot

FFU Module :

   -. 面速 : 0.4m/sec

   -. 效率 : 0.1㎛ 99.99995%

Aligner/OCR(Option)

   -. ID Reading&Notch整列

CCD Camera & Ionizer