产品介绍 人与技术结合的KCT

产品介绍

产品名称
KCS2004H
型号名称
150 ~ 200 Sorter
概要
本设备是保管 150/200mm Wafer 的Carrier 间 Wafer Dump,Sort,Split,Merge 等技能通过 Factory Automation 或者 Manual 执行。

150/200mm Wafer 对应

l150/200mm Wafer 对应

Flat/Notch Edge 对应

Thin Wafer 可以对应

2~4 Stages 可以对应

생산성 : 600 Wafers/Hour

Small Foot Print

Sort/Split/Merge/Program/Manual 作业技能

SECS/GEM 대응, Local Protocol 作业技能